用途场景
规格参数
【产品概述】
顺应科技发展，引领人才教育
科技是第一生产力，人才是第一资源。
教育的首要任务是快速提升人才培养质量，顺应新时代的发展步伐，从产业需求及国际形势出发，我国急需培养出一大批能够开展理论研究、半导体设计、掌握工艺流程以及研发管理的复合型人才，这就对高等教育的专业基础实践课程提出了更高的要求。
同惠电子成立以来一直专注于测量测试领域，结合自身再微电子和半导体领域的测量测试经验，多年的产学研合作经验以及上下游厂商对于人才能力的要求，针对性的设计了微电子实验系统，将实践落实到教学，测试理念引入到教学环节中，为微电子和半导体实践教学提供了新的方向。
微电子教学平台基本特点
■ 丰富的实验项目
微电子教学实验系统提供了多达九种实验项目，涵盖了微电子学、集成电路设计等方面。这些实验项目旨在帮助学生全面了解微电子学的基本原理和集成电路设计的方法。
■ 灵活的实验配置
根据不同的教学需求和实验课程设置，微电子教学实验系统支持多种不同的实验配置。学生可以根据自己的兴趣和需求选择合适的实验项目，进行个性化的学习和实践。
实验平台采用模块化设计，可根据不同教学需求、实验课程、方案预算等进行任意配置。先进的实验设备
■ 先进的实验设备
微电子教学实验系统采用了先进的实验设备和技术，如最新科技产品：半导体CV特性测试仪、数字示波器、双通道数字源表、信号源等，这些设备可以为学生提供真实的现实微电子设计、制造及测试环境，有利于学生毕业后更快适应微电子行业环境。
■ 易于操作的学习平台
根据不同的教学需求和实验课程设置，微电子教学实验系统支持多种不同的实验配置。学生可以根据自己的兴微电子教学实验系统采用了直观的操作界面和友好的人机交互设计，图文化教学使学生能够轻松地学习到微电子、集成电路、测试仪器的基本原理及实验操作。同时，实验台还提供了详细的实验步骤和故障排除指南，帮助学生解决实验过程中遇到的问题。
【应用】
■ 高校集成电路学院
■ 高校微电子系
■ 高校物理系
■ 高校电子电工系
【技术参数】
■ 微电子教学实验系统总体方案
■ 实验内容
■ 肖特基势垒特性及杂质的测量
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握肖特基二极管的结构 | TH511E半导体器件CV特性分析仪 |
固体物理基础 | 掌握肖特基势垒结的形成原理 | TH1992B精密源/测量单元 |
半导体材料基础 | 掌握肖特基二极管的整流特性和势垒电容 | TH26011D直流偏置夹具 |
电子薄膜材料与器件 | 学会测量肖特基二极管的C-V特性 | 半导体元件实验盒 |
学会计算杂质浓度 |
■ 电阻式传感器的工作原理与测量
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
硅光测试实验 | 掌握各种不同电阻式传感器原理 | TH511E 半导体器件CV特性分析仪 |
掌握LCR测量阻抗方式 |
■ 场效应晶体管直流参数测试
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握MOSFET基本结构与工作原理 | TH1992B精密源/测量单元 |
固体物理基础 | 掌握MOSFET各参数的定义 | 半导体元件实验盒 |
半导体材料基础 | 掌握测量MOSFET转移特性曲线与输出特性曲线的方法 | 直流特性测试软件 |
模拟集成电路 |
■ PN结直流特性测试及PN结参数的变温测试
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握稳压二极管工作原理 | TH1992B精密源/测量单元 |
固体物理基础 | 掌握稳压二极管伏安特性和参数定义 | 恒温箱 |
半导体材料基础 | 学会使用TH1902B型源表和恒温箱测试二极管温度特性 | 半导体元件实验盒 |
■ 双极型晶体管直流参数的测量
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握双极型晶体管的基本结构及主要参数的定义 | TH1992B精密源/测量单元 |
半导体材料基础 | 掌握利用源表进行双极型晶体管输入特性和输出特性曲线的测量方法 | 半导体元件实验盒 |
模拟集成电路 | 了解双极型晶体管输出特性的常见缺陷及其产生的原因 |
■ MOS器件静态特性测试分析
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握MOFFET饱和漏电流IDSS、阈值电压VTH、跨导等测量方法 | TH1992B精密源/测量单元 |
半导体材料基础 | 掌握测量MOSFET输出特性曲线的方法 | 半导体元件实验盒 |
模拟集成电路 | 直流特性测试软件 |
■ MOS器件CV特性测试
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 了解场效应管的动态参数与寄生电容 | TH511E半导体器件CV特性分析仪 |
半导体材料基础 | 熟悉动态参数中Ciss 、Coss 、Crss 等的定义及危害 | 半导体元件实验盒 |
模拟集成电路 | 掌握动态参数中Ciss 、Coss 、Crss 等的测量 | |
掌握动态参数中Ciss 、Coss 、Crss 曲线扫描 |
■ MOS器件动态开关特性测试
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 掌握MOSFET开启过程 | 数字存储示波器 |
半导体材料基础 | 掌握MOSFET开关时间定义 | 函数信号发生器 |
模拟集成电路 | 熟悉函数信号发生器使用 | 动态开关特性分析软件 |
熟悉数字存储示波器使用 | 半导体元件实验盒 |
■ 集成运放特性分析测试（上、下）
适用课程 | 实验目的 | 测量仪器设备 |
半导体器件原理 | 了解集成电路的概念，熟悉集成运放放大器的结构 | TH1992B精密源/测量单元 |
半导体材料基础 | 熟悉集成电路放大器中的各种参数概念 | TH1963A 数字多用表 |
数字集成电路 | 掌握集成电路放大器的参数测量方法 | 数字存储示波器 |
模拟集成电路 | 函数信号发生器 | |
集成电路实验盒 |
■ 实验课程
序号 | 实验名称 | 理论课名称 | 课程体系 |
1 | 肖特基势垒特性及杂质的测量 | 半导体器件原理 固体物理基础 半导体材料基础 电子薄膜材料与器件 | 半导体器件物理 |
2 | 电阻式传感器的工作原理与测量 | 硅光测试实验 | |
3 | 场效应晶体管直流参数测试 | 半导体器件原理 固体物理基础 半导体材料基础 模拟集成电路 | 半导体器件物理 半导体器件可靠性 |
4 | PN结直流特性测试及PN结参数的变温测试 | 半导体器件原理 固体物理基础 半导体材料基础 | |
5 | 双极型晶体管直流参数的测量 | 半导体器件原理 半导体材料基础 模拟集成电路 | |
6 | MOS器件静态特性测试分析 | 半导体器件原理 半导体材料基础 模拟集成电路 | 半导体器件物理 半导体器件可靠性 集成电路原理与设计 |
7 | MOS器件CV特性测试 | 半导体器件原理 半导体材料基础 模拟集成电路 | |
8 | MOS器件动态开关特性测试 | 半导体器件原理 半导体材料基础 模拟集成电路 | |
9 | 集成运放特性分析测试（上、下） | 半导体器件原理 半导体材料基础 数字集成电路 | |
