文天精策为上海某科技公司定制开发的半导体探针台,采用半导体温控技术,搭配气密腔室与反射光路系统,在-40℃至120℃的宽温区内实现±0.1℃的极高温度稳定性,该设备可用于半导体器件宽温域原位测试,实现电学信号采集与光学成像同步开展,为芯片的可靠性验证、失效分析及新型材料研发提供了精准可控的测试环境。

核心参数:
制冷方式:TEC制冷技术
温度范围:-40~120℃
温度稳定性:±0.1℃
温度传感器:PT100
载样台材质:铝合金
腔室:气密
光路:反射
技术特点:
宽温区高精度温控系统:采用半导体(TEC)制冷技术,实现-40~120℃全温区稳定温控,配合PID智能温控算法,全程温度稳定性±0.1℃,具备体积紧凑、无耗材、控温响应快等优势,适合实验室及产线常态化使用。
气密腔室解决低温结霜:整机采用密封式气密腔室结构,可持续通入干燥氮气形成保护气氛。低温测试时可抑制水汽凝结,避免样品、视窗结霜;同时可隔绝外部环境干扰,保障在洁净可控气氛下开展原位测试。
一体化集成、轻量化易操作:采用半导体热电制冷技术,无需液氮等耗材,模块化设计,配套软件可实现程控控温与多信号同步采集。
应用场景:
光电器件、Micro LED芯片高低温光电性能测试
半导体器件、薄膜器件、封装芯片变温电学特性表征
光电材料、半导体薄膜微观形貌与光学性能原位观测
器件高低温环境模拟、温度循环可靠性验证实验
温控性能:
配套专用温度控制软件,支持定点、斜率、程序段三种控温模式,可自定义多段升降温、保温流程,一键完成复杂温控实验。


