用途场景
规格参数
技术参数
| EVO系列 | 蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 | 蔡司EVO 25 |
| 腔体尺寸 直径 (Ø) x 高度 (h) | Ø 310 × h 220 mm | Ø 365 × h 275 mm | Ø 420 × h 330 mm |
| 最大样品高度 | 130 mm | 180 mm | 230 mm |
| 最大样品直径 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
| 电动载物台XYZ行程 | 100 x 90 x 50 mm | 140 x 130 x 100 mm | 150 x 140 x 150 mm |
性能特点
EVO系列结合高性能扫描电子显微镜，为显微镜专家和新用户带来直观且易操作的使用体验。凭借丰富的选件，无论是在生命科学、材料科学，或是在日常工业质量保证和失效分析领域，EVO均可根据您的需求量身定制。
- 用于显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
- 获取真实样品的出色图像
- 使用六硼化镧（LaB6）发射体实现高图像质量
- 对非导电和未涂层样品进行出色的成像和分析
- 工作流自动化和数据完整性
蔡司EVO 10
EVO 10可选配背散射探测器和Element EDS系统，以非常实惠的价格带您走进扫描电子显微镜的世界。您如今在EVO上的投资可确保应对未来需要更大空间和更多端口的应用。
蔡司EVO 15
EVO 15在分析应用领域表现十分出色。选择更大的真空样品仓，您可尽享多功能、多用途的显微镜中心或工业质量保证实验室解决方案。
蔡司EVO 25
EVO 25是您的大型样品解决方案。选配150 mm Z轴行程样品台，可进一步扩展其功能，即使在倾斜的情况下也可检测重达5 kg的样品。此外，大型真空仓将能够容纳多个分析探测器，以满足严苛的显微分析应用需求。
- 轻松使用丰富功能
SmartSEM Touch，只需指尖轻触便能轻松控制交互式工作流。操作简单易上手，大大减少了培训的工作量及成本，即便是新手用户也能在几分钟内采集到出色的图像。此外，该用户界面还可为需要自动化工作流来完成可重复检测任务的工业操作员提供帮助。
- 出色的图像质量
EVO在获取无涂层和未改性样品的优良数据方面具备优势。EVO使含水与重度污染的样品保留其原生状态，从而保护数据质量。此外，六硼化镧电子枪还能增强分辨率、衬度和信噪比，这在面对具有挑战性的成像与显微分析时非常重要。
- EVO能与其他显微镜良好互联
EVO可作为半自动化和多模式工作流的一部分，无缝衔接再定位感兴趣区域，并且保障多种模式下收集数据的完整性。它可将光学与电子显微镜的数据相结合，进行材料表征或部件检验，也可将EVO与蔡司光学显微镜结合使用，进行关联颗粒度分析。
- 简单直观的界面让操作更得心应手
在实验室中，操作SEM对于电子显微镜专家而言肯定游刃有余。但SEM的操作对非专业用户而言依然具有挑战，比如学生、新手或质量工程师等，他们往往也需要从SEM获取数据。因此，EVO在设计时便考虑到了这一点，它可选的用户界面能同时满足非显微镜专家和有经验的显微镜专家的操作需求
- 迈入检测应用新时代
使用六硼化镧（LaB6）电子枪获取更丰富的数据
相较传统发针型钨灯丝，六硼化镧阴极的电子发射可以按您所需，保证图像的每个细微之处都得到淋漓尽致的展示。您将从下面两方面获益：
在电子探针大小（如分辨率）不变的情况下，您可以获得更高的探针电流，更轻松地进行图像导航和优化。
在探针束流（信噪比）不变的情况下，束流直径要小得多，可以提高图像分辨率。
应用范围
- 制造与装配工业
质量分析/质量控制
失效分析/金相研究
清洁度检验
符合ISO 16232和VDA 19第1第2部分标准的颗粒形态分析和化学分析
非金属夹杂物分析
- 半导体和电子元件
电子元件、集成电路、MEMS器件和太阳能电池的可视化检查
铜线表面和晶体结构检测
金属腐蚀检测
截面失效分析
焊脚检测
电容器表面成像
- 钢和其他金属
金属样品和夹杂物的结构、化学特性及其晶体结构的成像和分析
相、颗粒度、焊接和失效分析
- 原材料
地质样品的形貌、矿物学和成分分析
金属结构、断裂和非金属夹杂物的成像与分析
微粉化和制粒过程中原料化学品和活性成分的形貌与成分分析
- 材料科学研究
研究应用中表征导电和非导电材料样品
生命科学
研究植物、动物和微生物
- 法医学
枪击残留物（GSR）
涂料和玻璃分析
钞票和硬币伪造
头发和纤维对比
法医毒理学
