用途场景
Specifications
技术参数
| 型号 | 蔡司sigma 360 | 蔡司sigma 560 |
| 电子源 | 肖特基场发射电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
| 30 kV分辨率*(STEM) | 1.0 nm | 0.8 nm |
| 15 kV/DCV** 分辨率 * | 0.7 nm | 0.5 nm |
| 1.0 nm1 kV/DCV**分辨率* | 1.1 nm | 1.0 nm |
| 500V分辨率 | 1.9 nm | 1.5 nm |
| 30 kV 分辨率*(可变压力模式) | 2.0 nm | 1.5 nm |
| 背散射电子探测器(BSD) | aBSD/HDBSD / NanovP lite-aBsD1 | aBSD/ HDBSD / Nanovp lite-aBsD1 |
| 最快扫描速度 | 50 ns/ 像素 | 50 ns/ 像素 |
| 加速电压 | 0.02- 30 kv | 0.02- 30 kv |
| 放大倍率 | 10x-1,000,000x | 10x-1,000,000x |
| 观察视野 *** | 4.6 mm | 4.6 mm |
| 探针电流 | 3 pA-20 nA(100 nA可选) | 3 pA-20 nA(100 nA可选) |
| 图像存储分辨率 | 32kx24k像素 | 32kx24k像素 |
| 接口数量 | 10 | 14 |
| EDS 接口 | 2(1个专用接口) | 3(2个专用接口) |
| *理想工作距离(WD);最终安装完成后，在1kv和 15 kV 高真空条件下进行系统验收测试时无需去卷积获得的分辨率 **数字分辨率(去卷积） ***在5 kv 高真空和 WD =8.5 mm 时的最大观察视野 | ||
| 真空模式 | ||
| 高真空 | 配备 | 配备 |
| 标准 VP/NanoVp lite | 10-133 Pa | 10-133 Pa |
| 样品台类型 | 5 轴电动优中心样品台 | 5 轴优中心样品台 |
| 样品台X轴行程 | 140 mm | 130 mm |
| 样品台Y轴行程 | 130 mm | 130 mm |
| 样品台Z轴行程 | 100 mm | 50 mm |
| 样品台T轴倾斜度 | -20-+90° | -4-+70° |
| 样品台R旋转转角度 | 360°连续 | 360°连续 |
性能特点
蔡司Sigma系列产品集场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）技术与良好的用户体验于一体，可轻松实现成像和分析程序，提高工作效率。 您可以将其用于新材料和颗粒的质量监测，或用于生物和地质样品的研究。在高分辨率成像方面精益求精——采用低电压，在1 kV或更低电压下获得更佳的分辨率和衬度。它出色的EDS几何学设计可执行高级显微分析，以两倍的速度和更高的精度获取分析数据。
Sigma 360是一款直观的成像和分析FE-SEM，是分析测试平台的理想之选。
直观成像工作流为您指引方向从设置到获取基于人工智能的结果，每一步都清晰明了即使您是新手用户，也能轻松获得专业结果。Sigma系列可迅速获取图像，易于学习和使用的工作流程可节省培训时间，简化从导航到后期处理的每个步骤，让您如虎添翼。蔡司SmartSEM Touch中的软件自动化可助您完成导航、参数设置和图像采集等步骤。接下来，ZEN core便可大显身手:它配备针对具体任务的工具包，适用于后期处理。我们十分推荐基于机器学习的人工智能工具包，它可助您进行图像分割，将多模式实验与ConnectToolkit相结合，此外，Materials应用程序还能分析微观结构、晶粒尺寸或涂层厚度。
- 从设置到获取基于人工智能的结果，均提供专业向导，为您保驾护航，助您探索直观的成像工作流。
- 可在1 kV和更低电压下分辨差异，实现更高的分辨率和优化的衬度。
- 可在极端条件下执行可变压力成像，获得出色的非导体成像结果。
Sigma 560采用先进的EDS几何学设计，可提供高通量分析，实现自动原位实验。
对实体样品进行高效分析EDS:通用、高速，助您深入研究Siqma 560的先进EDS几何学设计可提高分析效率。两个180°径向相对的EDS端口确保了即使在低电压小束流条件下，也能实现高通量无阴影元素分布成像。样品仓的附加EBSD和WDS端口不局限于满足EDS分析。不导电样品也可以使用全新的NanovP lite模式进行分析，并能获得更强的信号和更高的衬度。全新的aBSD4探测器可轻松实现表面形貌复杂样品的图像采集
- 高通量分析，原位实验自动化
- 对实体样品进行高效分析：基于SEM的高速和全方位分析。
- 实现原位实验自动化：无人值守测试的全集成实验室。
- 可在低于1 kV的条件下完成要求严苛的样品成像：采集完整的样品信息。
应用范围
- 材料科学
探索聚合物、纤维、二硫化钼等材料样品的图像。
- 生命科学
了解更多有关原生动物或真菌的微观和纳米结构信息，获取切面样品或薄片上的超微结构。
- 地球科学与自然资源
探索岩石、矿石和金属。
- 工业应用
了解如何对金属、合金和粉末进行研究。
