
文天精策为中国科学技术大学定制的外置调节四探针冷热台是一套专为变温电学测试设计的原位表征平台,主要由冷热台、高精度外置探针调节臂、温控系统、真空系统及循环水冷却系统组成。该产品的核心特点:在不移动样品的前提下,通过外置探针臂精密调节四根探针的XYZ位置,接触样品表面特定区域,同时提供-190℃至400℃的连续可控温度环境,实现变温电学性能的实时表征。外置调节设计使得探针定位更加灵活,尤其适用于非标准尺寸样品或特定微区的电学测试需求。
核心参数
冷热方式:液氮制冷,电阻加热
温度范围:-190~400℃(600℃气密)
温度稳定性:±0.1℃
温度传感器:PT100
光路:反射
腔室:真空(10-3mabr)
探针位移精度:5μm
载样台材质:银质
XYZ位移行程:±6mm
可配套电学测试软件,支持定制
技术特点
宽温域高精度温控,适配极端实验条件:设备实现-190℃至400℃(真空环境)的温度覆盖范围,温度稳定性高达±0.1℃,温度分辨率0.1℃。采用高精度PID温控算法,升降温速率0~50℃/min可调;
精密外置探针系统,微区定位精准可靠:通过外置探针臂手动调节XYZ三轴位移,探针位移精度5μm,XYZ位移行程±6mm。探针接口采用BNC接口(可升级三同轴BNC,适配pA级弱电流测量);
真空/气密双模式腔室,满足多样化环境需求:样品腔室支持真空兼气密双模式,真空度可达10-3mbar。真空模式可有效隔绝空气干扰,防止低温下水汽凝结或高温下样品氧化,防止影响测试结果;气密模式则可通入惰性保护气体或特定气氛,满足原位气氛电学测试需求。
应用领域
材料电学性能测量:用于精准表征各类材料的变温电学性能。包括半导体(如二维材料)、功能陶瓷(如压电/铁电氧化物)、新型能源材料(如热电材料、钙钛矿光伏材料)以及金属合金等。
器件与工艺工程:该设备为半导体芯片、微纳电子器件、传感器及新能源电池材料提供原位变温电学测试平台。通过高精度外置探针实现微米级定位,配合真空/气密环境,可完成变温特性曲线、长期可靠性测试,评估器件在极限温度工况下的性能稳定性,为器件设计优化和失效分析提供关键实验依据。
温控性能
配套专用温度控制软件,支持定点、斜率、程序段三种控温模式,可自定义多段升降温、保温流程,一键完成复杂温控实验。
