短脉冲光电元件晶圆点测平台 Model 58636 Series

产品特色

• 短脉冲：支持奈秒 (nanosecond scale) 等级之脉冲
• 数位控制：支持VoS (VCSEL on Silicon)，VoD (VCSEL on Driver) 等异质整合待测物提供数位控制。
• 波型量测：可使用波型输出模式 (工程模式) ，了解待测物特性。
• 多颗待测物同时测试：大幅度减少测试时间，增加测试效率。
• 6或8吋载台：最大可支持8吋晶圆测试。
• 电性与近场光学测试：二合一光学头专利设计。
• 支持多元待测物型式：透过特殊载台与载具可提供晶圆与其他形式的待测物于同一系统测试。
• 辅助可靠度测试验证待测物特性：搭配致茂电子烧机测试系列，使用共同治具达到系统化的作业流程。
• 弹性编辑测试项目报表：自由编辑输出测试项目使报表更精简。
• 低温 (-20℃) 至高温 (100℃) 测试：精准温控±0.1℃幅度。
• 自动上下料系统：支持10~15槽位放置晶圆，连续测试不间断。

产品介绍

因应大量3D感测 (3D-sensing) 应用于生活，如消费性电子感测、车载手势与面部感应、车用高级辅助驾驶系统 (Advanced Driver Assistance System, ADAS) 发展等，短脉冲雷射被广泛应用于户外与需要长距离感测之应用情境。 Chroma短脉冲光电元件晶圆点测平台58636可针对此种短脉冲高功率雷射晶圆晶片提供多元的测试方式。

除了传统晶圆 (Wafer) 的测试外，58636也支援异质结合晶片 (Heterogeneous Integration, HI) 如VCSEL on Silicon、VoS以及VCSEL on Driver、VoD的量测。 58636量测系统设计特殊电子回路以及电子数位控制的能力，针对不同型式的待测物将以正确且快速的驱动与量测达到客户需求。与微秒 (microsecond) 等级脉冲相比，奈秒 (nanosecond) 等级的脉冲驱动因驱动时间大幅减少，能获取的资料范围有限，因此需要精准驱动并且搭配相对应高频量测系统才可达成短脉冲量测。

Chroma 58636量测系统符合多元待测物短脉冲的需求。针对晶圆待测物，58636以专利回路设计达到奈秒等级的驱动与量测，针对异质结合晶片，58636搭配数位控制系统驱动待测物数位控制回路后进行测试。

短脉冲待测物为达到精准的驱动，衍伸出不同的待测物型式，VoS与VoD的测试型式与传统晶圆有所不同。Chroma可支持如印刷电路板 (Printed Circuit Board, PCB) 或是铜铝机板等打件型式待测物，搭配多元的待测物载具，使不同待测物型式可置于同一系统中测试。

晶圆制程流程中，可靠度验证是晶圆品质的一环。58636搭配Chroma雷射二极体烧机及可靠度测试系统，提供双机台可共用的载具，具备了晶圆验收测试以及批次验收测试 (Wafer Acceptance Test, WAT; Lot Acceptance Test, LAT) 相关验证的能力。58636使用同一平台，利用多元的载具增加测试的弹性。

在专利光学探头的设计下可以达成多种量测，单次下针即可获得电压、电流、电阻、光谱、光功率、近场光学等测试结果，并且节省宝贵的无尘室空间。

其他选配功能如:多颗待测物测试与自动上下料系统可更加有效率地缩短测试时间与减少人力成本；多颗待测物可在一次下针中，针对光学视野内的待测物依序作量测，大幅减少因多次下针载台累积位移所需的移动时间。自动上下料系统可提供10~15片晶圆不间断连续量测能力，减少因为人力换班造成的时间损失。

型号规格