用途场景
Specifications
空气分子污染（AMC）洁净室的氨气/氟化氢/氯化氢气体的高精度监测
先进半导体制造对气体污染物浓度检测严苛，避免影响芯片良品率，氨气属于碱性污染物（MB），会造成保护层显影不良；氟化氢、氯化氢属于酸性污染物（MA），能诱发硼污染 ，需将其浓度严格管控在极低水平，半导体晶圆厂常要求以低于1×10-9的水平测量，未来甚至可能要求低于0.1×10-9 。
ABB OA-ICOSTM气体分析仪延续Los Gatos Research 的优秀性能和辉煌业绩，采用离轴积分腔输出光谱专利技术，这是第四代腔增强吸收技术。OA-ICOSTM 工业痕量气体分析仪旨在以优异的灵敏度、准确度、精密度和响应时间，满足客户的苛刻要求。它简单易用，可在几分钟内启动，无需现场校准，并且只需极少的预防性维护。
该系列气体分析仪非常适用于：
• 空气分子污染（AMC）监测：用于确保半导体晶圆厂（FAB）工艺和人员的健康安全
• 前开式晶圆传送盒（FOUP）和气相沉积室监测
与传统的光腔衰荡光谱技术相比，离轴ICOS 技术具有诸多优势，例如：更加可靠耐用、更短测量时间、使用的光腔和反射镜可现场维修。
所有ABB 仪器均内置计算机（采用Linux 操作系统），该计算机会将每次分析的结果和相关指标存储在内部硬盘上，从而实现无需人员值守的长期运行。相关数据则可以通过模拟、数字（RS232）和Modbus输出方式源源不断地导出。此外，这系列仪器还可以通过互联网远程控制，用户无需身处现场，就可以控制仪器、从仪器中获取数据，以及对仪器进行诊断。该系列仪器还可以保存所测气体的完整光谱，用于故障排除，甚至在过程发生意外变动后，远程优化分析仪。
功能和优势
• 支持HF、HCI、NH3 的单气体或多气体配置
• 提供高精度、准确的H2O 测量结果
• 提供0-5V 和4-20 mA 模拟输出（标配），以及Modbus TCP（选购）
• 优化数据处理，在测量亚ppb 级别浓度时，实现优异性能
• 提供触控数字显示屏，显示气体浓度和分析仪的状态
• 提供主要密码保护，确保分析仪和数据安全
• 经过优化的零气性能，以可靠地确认过程事件
• 提供可定制的校准套件和性能认证文件包
• 坚固耐用；所需的维护工作很少并且花费较低
• 可轻松更换过滤器等耗材和正常老化部件（泵隔膜）
• 服务工程师可现场诊断并更换其他大多数部件
• 镜面清洁可现场进行，无需返回工厂费时维修
GLA231-EAA
项目（气体） | NH₃ | H₂O |
精度（1σ） | <1 ppb（1 秒）；<0.3 ppb（10 秒）；<0.1 ppb（100 秒） | <50 ppm（1 秒）；<20 ppm（10 秒）；<10 ppm（100 秒） |
检测限（LOD） | 0.3 ppb（100 秒） | 50 ppm（100 秒） |
准确性 * | ±0.3 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | >7,000 ppm；=1% FSD |
不同分析仪的结果差异（相对于平均值，10 秒） | ±0.4 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | ≤1000 ppm；=±10% |
线性测量范围 | 高达 10,000 ppb | 高达 30,000 ppm |
样品流量（lpm） | 1.4 - 2.4 | - |
响应时间（T₉₀ - T₁₀） | 10 秒 | - |
GLA231-HFHC & HF
项目（气体） | HCl** | HF | H₂O |
精度（1σ） | <0.3 ppb（1 秒）； <0.1 ppb（10 秒）； <0.035 ppb（100 秒） | <0.1 ppb（1 秒）；<0.05 ppb（10 秒）； <0.025 ppb（100 秒） | <25 ppm（1 秒）； <10 ppm（10 秒）； <5 ppm（100 秒） |
检测限（LOD） | 0.1 ppb（100 秒） | 0.075 ppm（100 秒） | 25 ppm（100 秒） |
准确性 * | ±0.15 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | ±0.1 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | >7,000 ppm；=1% FSD |
不同分析仪的结果差异（相对于平均值，10 秒） | ±0.2 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | ±0.2 ppb 或读数的 5%，以较高者为准 | ≤1000 ppm；=±10% |
线性测量范围 | 高达 2,000 ppb | 高达 2,000 ppb | 高达 30,000 ppm |
样品流量（lpm） | 1.1 - 1.9 | - | - |
响应时间（T₉₀ - T₁₀） | 25 秒 | 25 秒 | - |
* 适用于典型的半导体晶圆厂：在设定的19°C 和23°C 温度范围内，在至少1 小时内，变化范围在±1°C。
**HCl 测量仅适用于GLA231-HFHC 型号的分析仪。
一般参数：
测量速率： 0.01–1 Hz（用户可选）
采样条件： 工作温度：0°-45°C
环境湿度：相对湿度<99%，无凝露
入口压力：分析仪入口处为0-0.35巴（0-5 磅力/平方英寸）
数据输出：RS232、模拟、以太网、USB、ModbusTM1 TCP/IP
电源要求：170 W（稳态）, 配备ACC-DP3H 外置泵时，最大功率为290 W
尺寸（高x 宽x 深）： 22 × 48 × 61 厘米（8.75 × 19 × 24 英寸）
重量： 29 公斤（64 磅）
标志和认证： CE、CSA、IEC、CB 体系
订购信息：
OA-ICOS™ GLA231-EAA NH3 和H2O 高性能机架式分析仪
OA-ICOS™ GLA231-HF HF 和H2O 高性能机架式分析仪
OA-ICOS™ GLA231-HFHC HCl、HF 和H2O 高性能机架式分析仪
产地：ABB
