ICM-100半导体芯片检测显微镜
Model: ICM-100
用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
Specifications
产品概述
ICM-100半导体芯片检测显微镜 三锵泰达-ICM-100半导体芯片检测显微镜
| 技术规格 （标准配置） | |||
| 目镜 | 大视野 WF10X(视场数Φ22mm) | ||
| 无限远平场消色差物镜 | TD-DSX（配明场物镜） | PL L5X/0.12 工作距离：26.1 mm | |
| PL L10X/0.25 工作距离：20.2 mm | |||
| PL L20X/0.40 工作距离：8.80 mm | |||
| PL L50X/0.70 工作距离：3.68 mm | |||
| TD-DSX（配明/暗场物镜） | PL L5X/0.12 BD 工作距离：9.70 mm | ||
| PL L10X/0.25 BD 工作距离：9.30 mm | |||
| PL L20X/0.40 BD 工作距离：7.23mm | |||
| PL L50X/0.70 BD 工作距离：2.50 mm | |||
| 目镜筒 | 30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. | ||
| 调焦机构 | 粗微动同轴调焦,带粗动手轮松紧度调整装置,微动格值:1.0μm. | ||
| 转换器 | 五孔(内向式滚珠内定位) | ||
| 工作台 | 机械式工作台，外形尺寸：185mmX140mm，移动范围：横向（X）35mm，纵向（Y）30mm | ||
| 照明系统 | TD-DSX | 6V30W卤素灯，亮度可调 | |
| TD-DSXB | 12V50W卤素灯，亮度可调 | ||
| 内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置，推拉式检偏器与起偏器 | |||
