用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
规格参数
产品概览
晶圆级射频芯片全参数自动测试系统射频/微波器件+功率/直流器件通用的8寸晶圆半自动综 合测试平台，覆盖从直流、低频到微波射频全维度电性表征，是高校射频实验室、化合物半导
体、毫米波芯片、先进工艺流片验证的典型标配。
产品介绍
· 8寸晶圆通用，射频直流一体化测试
· 直流至微波射频，全维度电性表征
· 晶圆级射频芯片，全自动参数测试
· 适配毫米波芯片与化合物半导体
· 高校实验室及流片验证标配平台
产品参数
系统组成
主要应用领域
| 射频/微波器件与毫米波器件 | 射 频MOS 管、HEMT、pHEMT、mHEMT GaAs、GaN、InP 等化合物半导体器件 毫米波器件、5G/6G 射频器件、相控阵单元 |
| 射频无源器件研发 | 电感、电容、传输线、巴伦、耦合器、滤波器 片上天线、RF MEMS、毫米波无源结构 |
| 先进集成电路与工艺验证方向 | 8 寸晶圆流片后RF+DC 联合电性测试 工艺均匀性、良率分析、器件模型提取 |
| MEMS与传感器 | RF MEMS开关、谐振器、SAW/BAW 器件 微纳结构的电学+射频联合表征 |
| 功率与射频集成器件 | GaN 射频功率器件、 Doherty 功放结构 射频开关、移相器、衰减器 |
| 二维/新型电子材料 | 石墨烯、碳纳米管、二维材料的射频输运特性 |
核心测试内容
| 直流/低频参数测试 | 源表、电源、万用表 | IV 输出/转移特性、击穿电压、漏电流电阻、 电导、接触电阻、 TLM 测 试 霍尔效应、载流子迁移率、载流子浓度 阈值电压Vth、 跨 导gm、 导通电阻 Ron 小信号电阻、电容、电导参数提取 |
| 射频阻抗与S参数 | 矢量网络分析仪VNA | S11、S21、S22、S12散射参数 阻抗Z、导纳Y、h/y/ z 参数 驻波比VSWR、回波损耗、插入损耗 截止频率、增益、稳定性因子 器件小信号模型参数提取 |
| 射频信号与频谱特性 | 信号源、频谱仪 | 增益压缩、1dB 压缩点PdB、 三阶互调失真IMD3、 动态范围、谐波、杂散、噪声系数 射频功率传输、辐射特性测试 大信号激励下器件响应 |
| 8英寸半自动探针台核心功能 | 8英寸整片晶圆自动步进打点测试 微米级对准，支持多射频探针 直流探针+RF 探针共平面测试 批量测试、数据自动记录、 mapping 成像 碎片/小片/剥离样品兼容测试 |
