8英寸全自动探针台 PT-9200
Model: PT-9200
用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
Specifications
产品概览
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、Mems类晶圆测试
产品介绍
· 高精度定位平台
· 可满足2000根探针测试，可用于多芯同时探测,提升产能效益
· 精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针
· CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
· 搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式
· 低漏电chuck：Chuck leakage＜1pA@10V下(可选）
· 配置自动打点器，打点动作时间可调，支持测试后自动打点
· 支持13和25槽片盒传片（SEMI标准）
产品参数
应用领域
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、Mems类晶圆测试
测试应用
大电流测试
坏点重测
射频测试
无Notch预对准
遮光处理
WAT测试
高温测试
高压测试
高低温测试
主要功能
CHUCK自动清理功能
晶圆ID自动读取
自动打点，具备打点器对准调整功能
自动对针功能
自动清针功能
MAP图实时显示、存储产品（支持 wafer map生成及上传测试机）
自动晶圆对准功能
晶圆厚度自动检测功能
SMIF接口、天车系统对接
