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子束并把电子束向坩埚引导。在运行过程中电子束枪发射的高能电子束功率密度超过 20KW/cm2。在沉积氧化铝薄膜时,电子束在装有铝材料的坩埚上扫描直至铝完全熔化。 通过进一步加热…
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