HM-130高性能残余气体分析仪
Model: HM-130
用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
Specifications
产品概述
HM-130高性能残余气体分析仪，专为半导体及真空工艺量身打造，它以自研核心技术，为真空制程装上“数字慧眼”。
关键概述
- 超高灵敏2E-15Torr最小可检分压，精准捕捉超低浓度气体杂质
- 瞬时响应2ms/点高速扫描，实时捕捉制程瞬态变化
- 宽幅探测覆盖1–300amu全量程，兼容多场景、多气体的定性定量分析
- 稳定可靠面向半导体与真空镀膜严苛环境设计，长期运行性能稳定，确保量产工艺高度一致
Specifications
